一、高純靶材的分類及常規(guī)產(chǎn)品
高純鈦靶材，一般鈦靶就分圓靶和鈦板靶兩種，具體定做根據(jù)客戶規(guī)格和圖紙定做。
巨偉鈦業(yè)常年供應以下鈦靶材：
產(chǎn)品名稱：鈦靶材
牌號：TA0， TA1， TA2， TC4， TC6， TC11， GR5， TA7
品牌：巨偉鈦業(yè)
主要形式：圓靶、板靶、管靶
鈦含量≥：99.8(%)雜質含量：0.02(%)重量：不等(kg/塊)
密度：4.51或4.50
圓靶：60/65/70/80/85/90/95/100(D)×20/30/32/35/40/42/45/50(T)
板靶：60/80/120(W)x6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)×6-40(T)×600-2000(L)
管靶：0.1-30.0mm(W.T.)×3-350mm(O.D.)×50-15000mm
二、高純鈦靶材的應用領域
眾所周知，純度是靶材的主要性能指標之一，在實際應用中，對靶材的純度要求也不盡相同。高純鈦靶材的應用相比一般的工業(yè)純鈦，高純鈦價格昂貴，應用范圍較窄。主要用來滿足一些特殊行業(yè)的使用。巨偉鈦業(yè)將高純鈦靶材的細分應用領域，整理如下：
1、生物材料
鈦是無磁性金屬，在很強的磁場中也不會被磁化，且與人體有良好的相容性，無毒副作用，可以用來制造人體植入器件。一般醫(yī)用鈦材并沒有達到高純鈦的級別，但是考慮到鈦中不純物的溶出問題，植入件用鈦的純度應盡可能的高。高純鈦絲可用做生物捆扎材料。此外，內埋導管的鈦制注入式針頭也達到了高純鈦級別。
2、裝飾材料
高純鈦具有優(yōu)異的耐大氣腐蝕性能，在大氣中長期使用也不變色，保證鈦原有的本色。因此高純度鈦還可以用做建筑裝飾材料。此外，近年來部分高檔裝飾品以及部分佩戴物，如手鏈、手表及眼鏡架等用鈦制作利用了鈦耐腐蝕、不變色、能長久保持良好的光澤以及與人體皮膚接觸不致敏等特性。某些裝飾品用鈦的純度已經(jīng)達到5N級別。
3、吸氣材料
鈦作為一種化學性質非常活潑的金屬，在高溫下可與許多元素和化合物發(fā)生反應。高純鈦對活性氣體(如O2，N2，CO，CO2，650℃以上的水蒸氣)的吸附性很強，蒸發(fā)在泵壁上的Ti膜可形成一個高吸附能力的表面，這一性質使得Ti在超高真空抽氣系統(tǒng)中作為吸氣劑而得到廣泛的應用。如用在升華泵、濺射離子泵等，可使濺射離子泵的極限工作壓強低至10-9Pa。
4、電子信息材料
近年來，隨著半導體技術、信息技術等高科技領域的快速發(fā)展，高純鈦在濺射靶材、集成電路、DRAMs和平板顯示器等方面的用量越來越大，對鈦材的純度要求越來越高。在半導體超大規(guī)模集成電路行業(yè)，控制電極采用鈦硅化合物、鈦氮化合物、鎢鈦化合物等作為擴散阻擋層和配線材料。制造這些材料采用濺射法，而濺射法用的鈦靶材對純度要求很高，特別是對堿金屬元素和放射性元素要求含量極低。
近年來，其與之相配的濺射設備也開始使用與濺射鈦靶材同等純度的高純鈦。目前，對于4兆位的超大規(guī)模集成電路，要求鈦的純度達到4N5(99.995%)～5N(99.999%)級，而16兆位的第三代超大規(guī)模集成電路則要求鈦的純度達到6N(99.9999%)級。
相關鏈接
