鈦濺射靶材的應用情況與工作原理

隨著市場高科技產品的不斷研發(fā)，靶材也在市面上頻頻出現(xiàn)，濺射靶材就是其中的種，它具備優(yōu)良的性能，非常受市場的歡迎，然而還有很多人不知道濺射靶材是干什么用的，今天巨偉鈦業(yè)就來為大家介紹一下濺射靶材的用途及工作原理吧！

一、濺射靶材的用途

1、微電子領域

在各種應用產業(yè)中，半導體產業(yè)對于靶材濺射薄膜的品質要求是很苛刻的，比如硅片廠家的要求是高純度、大尺寸、細晶粒和低偏析，所以這就要求靶材需要有更好的微觀結構。

2、顯示器

近年來平面顯示器大幅沖擊以陰極射線管為主的電腦顯示器及電視，所以也帶動了靶材的技術及市場需求。目前平面顯示器的薄膜多采用濺射成形。濺射用靶材主要有In2O3、SnO2、MgO、w、Mo、Ni、Cu、Cr等。

3、存儲用

根據儲存技術的高密度、大容量硬盤的發(fā)展，就需要大量的巨磁阻薄膜材料，一般在信息存儲行業(yè)中使用濺射靶材制備的相關薄膜產品有硬盤、磁頭光盤等。

當然濺射靶材的用途可不止這些，還可以應用于高溫耐蝕、耐磨材料、裝飾用品等行業(yè)，利用濺射靶材制備的各種類型的濺射薄膜材料無論在半導體集成電路、太陽能光伏、記錄介質、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應用。

二、濺射靶材工作原理

濺射靶材主要是由靶坯、背板等部分構成，靶坯屬于高速離子束流轟擊的目標材料，是核心部分，在濺射鍍膜的過程中，靶坯被離子撞擊后，表面原子被濺射飛散出來并沉積于基板上制成電子薄膜。因為高純度金屬強度較低，可是濺射靶材需要安裝在專用的機臺內完成濺射過程，機臺內部為高電壓、高真空環(huán)境，所以超高純金屬的濺射靶坯需要與背板通過不同的焊接工藝進行接合，背板主要起到了固定濺射靶材的作用，以及良好的導電、導熱性能。

以上是對于濺射靶材是干什么用的這一問題的解答，經過以上介紹可知濺射靶材可用于微電子領域、顯示器、存儲用及高溫耐蝕、耐磨材料、裝飾用品等行業(yè)，用途非常廣泛，寶雞巨偉鈦業(yè)有限公司生產的鈦濺射靶材工藝優(yōu)良、質量優(yōu)異、種類多樣，隨時歡迎大家致電或留言咨詢。

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